ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化

ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化

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ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化【新装版】 33,000 円(税込) 在庫あり. 常に最適な条件でエッチングを行う(図3(b))。 図4にパラメータランピングの適用例を示す。通常の圧力 ではトレンチの先端が細くなる(図4(a))。先細り形状は圧 力の低圧力化で改善するが,マスク選択比,およびエッチン. 1 アルミニウム (Al) 薄膜のテーパーエッチング加工技術; 2. 7: 大きさ、容量等: 223p ; 27cm: 注記 文献あり ISBN:: 価格: 55000円: JP番号:: 部分タイトル. 各種金属薄膜のウェットエッチング 2.

ウェットエッチングのメカニズムとエッチング速度・精度への影響因子 銅ウェットエッチングのメカニズムと影響支配因子 松本克才 著 銅エッチング液の特性と速度支配因子 高井健次 著 ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化 金属・合金ウエットエッチング処理の最適化 多田修 著 透明導電膜. 7: 大小,容量等: 223p ; 27cm: 附注 文献あり ISBN:: 价格: 55000円: 日本全国书目号码:: 部分标题. ウェット エッチング ノ メカニズム ト ショリ パラメータ ノ サイテキカ. ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化(サイエンス&テクノロジー(株)) ページ : 67-91 データソース. ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化 (日本語) 単行本 – /7/1 その他 の形式およびエディションを表示する 他の形式およびエディションを非表示にする. ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化【新装版】 をご利用ください。.

ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化: 著作者等: 松本 克才: 書名ヨミ: ウェット エッチング ノ メカニズム ト ショリ パラメータ ノ サイテキカ: 出版元: サイエンス&テクノロジー: 刊行年月:. ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化: 出版地(国名コード) JP: 出版地: 東京: 出版社: サイエンス&テクノロジー: 出版年月日等:. ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 4-1 ウェットエッチングの原理 4-1-1 エッチング液の構成と化学反応 4-1-2 酸化剤および標準酸化還元電位 4-1-3 エッチング液に用いられる各種試薬 4-2 ウェットエッチングの律速過程 4-2-1 反応律速と拡散律速. ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化【新装版】 をご利用ください。. 本書は、年7月発刊「ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化 」 (isbn)の装丁および価格を改訂したものです。 内容は年の書籍と同じですので、ご購入時にお間違えないようご注意ください。.

【tsutaya オンラインショッピング】ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化/ tポイントが使える. ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化 松本 克才 (著) 高井 健次 (著). 各種low-k材料に最適なエッチング!微細化と低誘電率化への要求に応えるダメージ低減・修復技術! PZT強誘電体・high-k材に有効なエッチング技術! 有機膜の平滑エッチングを可能にするには? ITO最適エッチャント&エッチングメカニズムとは?. 本書籍は、経験則に基づいた理想的なウェットエッチング方法と、研究で明らかになってきたウェットエッチングのメカニズム・影響因子の最先端技術動向について、実務経験豊富な企業の技術・研究者と大学の第一線研究者に、「事例」「考え方」「方法」を執筆いただい. com で、ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化 の役立つカスタマーレビューとレビュー評価をご覧ください。ユーザーの皆様からの正直で公平な製品レビューをお読みください。. 本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説します。日頃の技術開発やトラブル相談にも個別に応じます。 プログラム 1.ウェットエッチングの基礎. 研究開発成果(エッチング技術)-4 金属マスキングを用いた場合(エッチング後) エッチング後(3520s後)のSEM像 比較的均一なエッチングが進んでいる。 微細なクロムパターンでは、一部浸食も認められる (プロセスの最適化を行う).

年3月19日WEB開催 「ウェットエッチングの基礎と形状コントロール及びトラブル対策<Zoomによるオンラインセミナー:見逃し視聴有> 」 ・セミナーポイント:本オンラインセミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策に. ・ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化 第4節 透明導電膜(ito)ウェットエッチングの課題と対策技術 その他、ito関連や洗浄技術で数件. サイエンス&テクノロジー,. 本セミナーでは、ウェットエッチングの基礎メカニズムに重点を置きながら、エッチングの高精度化、トラブル対策についても解説します。日頃の技術開発やトラブル相談にも個別に応じます。 プログラム. 大部分を占めている。ipa添加量の最適化や,液寿命を延 ばすことにより,ウェハ1枚当たりにかかる薬液コストを下 げてはいるものの,まだ十分ではない。そこで最近では ipaを必要としないエッチング液の検討が進められている。. 7: ページ数: 223p: 大きさ: 27cm: ISBN: 978-4.

【非特許文献1】ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメーターの最適化、サイエンス&テクノロジー、p174−179、年 【発明の概要】 【発明が解決しようとする課題】 【0007】. 書籍【ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化】 製品画像. 高井 健次 日立化成工業 (株) /.

第2章 エッチング液・浴の管理と最適化. プロセスの基礎と最適化要因 2-1 被加工表面の最適化(表面被膜、汚染、欠陥の影響) 2-1-1 被加工膜の材質依存性(Cu、Al、Si、ガラス、高分子膜) 2-1-2 表面汚染(大気中放置、自然酸化) 2-1-3 表面前処理(疎水化および親水化) 2-2 エッチング液. 1.アルカリ処理液によるPETフィルムのウェットエッチング工法の原理 2.アルカリエッチングの基本工程 3.アルカリエッチングされたPETフィルムの特徴. 等方性エッチングと異方性エッチング; 2. 多田 修 平井精密工業 (株. ウェットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化: 出版地(国名编码) JP: 出版地: 東京: 出版社: サイエンス&テクノロジー: 出版年月日等:. 2 アルミニウム (Al) /ネオジウム (Nd) 合金膜のテーパーエッチング加工技術. 半導体装置のウェット処理において、エッチングを制御しながら薬液使用量を削減する。 - ウェット処理方法及びウェット処理システム - 特開−29443 - 特許情報.

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